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宜特检测俄歇电子能谱仪(AES)

文章来源:www.istgroup.com 上传时间:2017-12-22 浏览次数:
文章摘要:AES俄歇电子能谱仪,俄歇电子能谱仪AES分析公司,宜特检测俄歇电子能谱仪(AES)俄歇电子能谱仪(AES)是一种分析材料表面**形态及化学结构的仪器,可适用于电机、机械、电子、材料、化学、化工等研究领域。其原理为利用电子束为激发源,当原子的内层电子受激发而脱离原子时,原子的外层电子将很快的迁降至内层电子的空穴并释出能量,而激发另一外层电子使其脱离原子,激发而脱离原子束缚离开试片表面的电子即为俄歇...

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俄歇电子能谱仪(AES)

俄歇电子能谱仪(AES)是一种分析材料表面**形态及化学结构的仪器,可适用于电机、机械、电子、材料、化学、化工等研究领域。

其原理为利用电子束为激发源,当原子的内层电子受激发而脱离原子时,原子的外层电子将很快的迁降至内层电子的空穴并释出能量,而激发另一外层电子使其脱离原子,激发而脱离原子束缚离开试片表面的电子即为俄歇电子(Auger Electron),此电子同样具有**该原子特性的能量,因此分析俄歇电子亦可得材料成份的信息。 

功能介绍

  • Survey of the sample surface (样品表面元素分析)

  • Auger depth profile (以Ar+(3kV 1uA)蚀刻样品表面,得到元素纵深分析)

  • Auger mapping (在选定范围内作元素分布影像图)

  • ECSA(XPS) (以X光照射样品表面,侦测其被游离之光电子,判定其材料元素键结分析)

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关于宜特:

iST始创于1994年的中国台湾,主要以提供集成电路行业可靠性验证、材料分析、失效分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海,全球现已有7座实验室12个服务据点,目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。

俄歇电子能谱仪(AES)