AES俄歇电子能谱仪,俄歇电子能谱仪AES分析公司,宜特检测
俄歇电子能谱仪(AES)
俄歇电子能谱仪(AES)是一种分析材料表面**形态及化学结构的仪器,可适用于电机、机械、电子、材料、化学、化工等研究领域。
其原理为利用电子束为激发源,当原子的内层电子受激发而脱离原子时,原子的外层电子将很快的迁降至内层电子的空穴并释出能量,而激发另一外层电子使其脱离原子,激发而脱离原子束缚离开试片表面的电子即为俄歇电子(Auger Electron),此电子同样具有**该原子特性的能量,因此分析俄歇电子亦可得材料成份的信息。
功能介绍
Survey of the sample surface (样品表面元素分析)
Auger depth profile (以Ar+(3kV 1uA)蚀刻样品表面,得到元素纵深分析)
Auger mapping (在选定范围内作元素分布影像图)
ECSA(XPS) (以X光照射样品表面,侦测其被游离之光电子,判定其材料元素键结分析)
关于宜特:
iST始创于1994年的中国台湾,主要以提供集成电路行业可靠性验证、材料分析、失效分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海,全球现已有7座实验室12个服务据点,目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。
俄歇电子能谱仪(AES)